金融界 2024 年 9 月 18 日消息，天眼查知识产权信息显示，中山大学、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请一项名为“一种透明导电氧化物薄膜及其制备方法和应用“，公开号 CN202410936736.3，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种透明导电氧化物薄膜及其制备方法和应用。本发明的透明导电氧化物薄膜的制备方法包括以下步骤：1）将氩气和氧气作为反应气体，采用反应等离子体沉积法在衬底上沉积透明导电氧化物，控制沉积气压为 0.1Pa～1Pa、水蒸气分压≤1×10?3Pa，并控制沉积厚度≤50nm，得到表面形成有晶核的沉积薄膜；2）将沉积薄膜置于空气氛围中进行退火，即得透明导电氧化物薄膜。本发明采用 RPD 技术，以氩气和氧气作为反应气体，通过严格控制水蒸气分压和沉积气压，沉积得到了高迁移率超薄 TCO 薄膜，该 TCO 薄膜可以应用在太阳电池中，可以减少 TCO 的消耗，有利于降低太阳电池的生产成本。
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